自動(dòng)化半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗設(shè)備SCS-Q012-150mm（50晶圓）是實(shí)現(xiàn)混合物(SPM) -HF溶液-過氧化物-氨水溶液(APM) -過氧化物-鹽溶液（HPM）交替加工的工藝過程，在化學(xué)試劑中對(duì)直徑為150mm的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。

1.適用直徑150mm的晶圓；

2.每個(gè)槽中至少有50片晶圓，放置在2個(gè)卡塞中；

3.自動(dòng)晶圓定位系統(tǒng)；

4.機(jī)械手自動(dòng)操作和運(yùn)輸系統(tǒng)；

5.配備高效微?？諝膺^濾器；

6.配置溶液制備系統(tǒng)；

7.控制系統(tǒng)：PLC+人機(jī)界面。

晶圓制造等